適用范圍：
．晶圓代工
．晶圓再生
．精密電子
．生化制藥

制程:
．晶圓取放
．精密電子料件傳送
．生化制藥產(chǎn)業(yè)各式檢驗

優(yōu)點：
．體積小
．重現(xiàn)精度高
．ISO CLASS 1
．動作靈活--特別適合應(yīng)用于狹小空間
．工作范圍大，不需外加直線滑軌即可對應(yīng)并排3 PORT，節(jié)省設(shè)備成本及減少污染機會。